过去传统静电消散应用为风机类,正负离子因为是同时释放需要很大的风量把离子带出来,应用在先进制程无尘室内的环境系统,则会破坏层流因此不适用 。 而耀群的静电消散系统为脉冲直流型,也就是正负离子会交替间隔释放,也是目前世界上符合无尘室环境内使用的商用电离器。
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主要经营AU-80表面颗粒检测机
相对一般无尘室内广泛被使用之手持或落尘监控设备只能检查出环境落尘品质而不能检测出particle落尘何处的缺点,透过ASYS AU-80表面**物颗粒检测机,能很轻易发觉生产设备上particle落点
曝光机﹨显影机﹨蚀刻﹨黄光及偏光板贴附机台效果较为显着
对制程机台在**物质﹨油渍﹨水渍﹨带静电particle﹨毛屑﹨纤维﹨胶类物质之particle皆可观察。
单位注册资金单位注册资金人民币 1000 - 5000 万元。
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